产品名称 |
金属采样设备 |
面向地区 |
品牌 |
其它 |
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型号 |
PC700 |
适用行业 |
食品 |
nasgiken简易型微量金属污染物采样设备SC-3100
SC-3100
●通过与计算机联机,可选择丰富多样的采样模式,对晶圆正面以及端面的微量金属污染物进行采样操作。
●因为不太需要外部资源,也不太占地方,易于导入。
●采样操作由设备自动完成,无需熟练工就可轻松完成采样操作。
●采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作,与SC-2000相比,可以减少由操作员引起的污染。
SC-8100
●具有对亲水晶圆污染物进行采样的功能、对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。
●对于晶圆表面状态、采样液种类的要求不苛刻,另外,还可以对非重金属离子进行采样。
●当然,也可以进行传统的憎水采样操作。
SC-9100
●具有对亲水晶圆污染物进行采样的功能、对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。
●对于晶圆表面状态,以及采样液种类的采样限制,本设备有所突破,另外,也可以对非重金属离子进行采样。
●当然,也可以进行常规的憎水采样操作。
●采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作,与SC-8100相比,可以减少由操作员引起的污染。
nasgiken简易型微量金属污染物采样设备SC-3100
设备名称 | SC-3100 | SC-8100 | SC-9100 | |||||||
操作控制 | 电脑(※3) | |||||||||
支架具的装/卸 | 自动 | 手动 | 自动 | |||||||
采样液的供给 | 自动 | 手动 | 自动 | |||||||
采样液的回收 | 自动(※1) | 手动 | 自动 | |||||||
采样基本模式 | 圆环形、扇形、固定半径、圆弧 | |||||||||
采样追加模式(※1) | 端面、弧形、长方形 | |||||||||
晶圆排片(※2) | 对圆环形、固定半径、端面采样模式有追加项 | |||||||||
吸取式采样 | 〇 | ー | 〇 | |||||||
亲水面采样 | ー | 〇 | 〇 | |||||||
外形尺寸(WxDxH)(mm) | 630×550×600 | 600×550×700 | 630×550×790 | |||||||
重量 | 35Kg | 40Kg | 50Kg | |||||||
安装环境 | 无尘通风柜内 | |||||||||
所需外部资源 | 电源(100~240VAC)、 纯净水、干洁气源 | 电源(100~240VAC)、 N2、干洁气源 | 电源(100~240VAC)、 纯净水、N2、干洁气源 |
※1,2: 追加项目需要另外计费,另外,对于亲水状态的晶圆,不能进行端面采样,谨请谅解。
※3:配置电脑需要另外计费。